4.2 基本工序

4.2.1 附录A是根据薄膜太阳能电池生产典型的产品类型和技术路线提出的，其中内容基本反映了目前薄膜太阳能电池生产的主要流程和工序，可以作为初步确定生产环境要求和动力需求的基础。该流程中未包括批量生产所必需的检验和测量工序，以及针对特定产品结构所需的特定加工工序（如CdTe沉积工序后边通常有热处理工序）等。

    另外，即使是同一类太阳能电池也常存在不同的技术路线。如铜钢镓硒太阳能电池常见的真空工艺方案就包括共蒸镀（一步法）、溅射金属预制层再硒化、硫化（两步法），而非真空工艺也有电镀或合成技术（纳米技术）、印刷涂布技术等，而且随着薄膜电池技术的不断发展，这些工艺路线也在不断地发展完善。因此，在项目设计中工艺设计人员需以附录A为基础，仔细了解具体项目的产品和工艺路线，制定出适合项目的工艺流程。

    需要注意的是，砷化镓薄膜太阳能电池面积较小，不需要进行大尺寸背板的层压和装框等工序，附录A图A（d）中所示的后段工序流程不适用于砷化镓薄膜太阳能电池。

4.2.2 薄膜太阳能电池工厂生产需要用到较多的动力和相关的配套设施，除了变配电、空调机房、冷却循环水站、废水处理站、大宗气站、特气站、冷冻站等动力站房之外，其他常见的技术服务部门还包括车间办公、休息、更衣、参观、原辅材料暂存、检测、质量、检修、消防值班等。